特許
J-GLOBAL ID:200903002532892811
半導体レーザ装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
柏谷 昭司 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-321853
公開番号(公開出願番号):特開平5-160504
出願日: 1991年12月05日
公開日(公表日): 1993年06月25日
要約:
【要約】【目的】 クラッド層の構造に特徴を有する高出力半導体レーザ装置に関し、キャリアのオーバフローとサーモアイオニック遷移効果を低減した、低しきい値電流,高効率,短波長,高出力特性を有する半導体レーザ装置を提供する。【構成】 第1導電型(p型)のクラッド層が、活性層(5)に近い側から、活性層(5)との間に大きいヘテロ障壁を有し、基板(例えばGaAs)(1)と格子整合しない組成(例えばAl0.42In0.58P)を有し、臨界膜厚より薄い、第1のキャリアオーバフロー防止層となる第1クラッド層(6)と、活性層(5)との間に大きいフェルミ準位差と高いヘテロ障壁を有し、高濃度ドーピングされ、かつ、基板(1)と格子整合し、第2のキャリアオーバフロー防止層となる厚い第2クラッド層(例えば(Al0.7 Ga0.3 )0.5 In0.5 P)(7)の2層で構成する。
請求項(抜粋):
基板上に形成された第1導電型のクラッド層が、活性層に近い側から、活性層との間に大きいヘテロ障壁を有し、基板と格子整合しない組成を有し、臨界膜厚より薄い、第1のキャリアオーバフロー防止層となる第1クラッド層と、活性層との間に大きいフェルミ準位差と高いヘテロ障壁を有し、高濃度ドーピングされ、かつ、基板と格子整合し、第2のキャリアオーバフロー防止層となる厚い第2クラッド層、の2層で構成されたことを特徴とする半導体レーザ装置。
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