処理液用タンク及び処理装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：萩原康司 , 金本哲男 , 亀谷美明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-243049
公開番号（公開出願番号）：特開2004-087549
出願日： 2002年08月23日
公開日（公表日）： 2004年03月18日
要約：

【課題】タンク及び熱交換器に必要なスペースを小さくでき,かつ,低コストを実現できる処理液用タンク及び処理装置を提供する。【解決手段】所定の処理液を貯留する処理液用タンク100において,処理液用タンク100内に内筒130を備え,前記内筒130の外側に処理液を貯留し,前記処理液中に,熱媒を通す配管160a,160b,160cを配置することとした。また,前記配管160a,160b,160c内を通る熱媒の流れと,前記処理液の流れを,互いに逆方向にした。さらに,処理液用タンク100と,被処理体を処理する処理部と,前記処理液用タンクから前記処理部に処理液を供給する処理液供給ラインを備えることを特徴とする,処理装置とした。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

所定の処理液を貯留する処理液用タンクであって, 処理液用タンク内に内筒を備え, 前記内筒の外側に処理液を貯留し, 前記処理液中に,熱媒を通す配管を配置したことを特徴とする,処理液用タンク。

IPC (3件)：

H01L21/304 , B08B3/04 , B08B3/10

FI (3件)：

H01L21/304 648K , B08B3/04 Z , B08B3/10 Z

Fターム (15件)：

3B201AA03 , 3B201AB23 , 3B201AB33 , 3B201AB34 , 3B201AB44 , 3B201BB02 , 3B201BB03 , 3B201BB05 , 3B201BB62 , 3B201BB82 , 3E070AA02 , 3E070AB09 , 3E070DA01 , 3E070EA07 , 3E070EB02

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平3-183602
槽容器
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-289273 出願人：住友重機械工業株式会社
液体温度調節用熱交換器
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-147119 出願人：オリオン機械株式会社

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