特許
J-GLOBAL ID：200903002541167283
液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
小林 久夫
, 安島 清
, 佐々木 宗治
, 大村 昇
, 高梨 範夫
, 山東 元希
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-319915
公開番号（公開出願番号）：特開2008-132646
出願日： 2006年11月28日
公開日（公表日）： 2008年06月12日
要約：
【課題】ダイシングブレードに負担をかけずに、所望するサイズに液滴吐出ヘッド(特に厚みがある積層数が多い液滴吐出ヘッド)を個片化することができる液滴吐出ヘッドの製造方法等を得る。【解決手段】液滴を吐出するための部位を設けた複数の基板を積層して形成した複数の液滴吐出ヘッドを有する基板をダイシング加工し、各液滴吐出ヘッドに切り離す液滴吐出ヘッドの製造方法において、最表層の基板である電極基板10のダイシング加工を行う部分に対して、所望するダイシング幅よりも広い凹部を有するダイシング補助溝67をダイシング加工前に形成する工程を有する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
液滴を吐出するための部位を形成した複数の基板を積層してダイシング加工し、各液滴吐出ヘッドに切り離す液滴吐出ヘッドの製造方法において、
最表層の基板における前記ダイシング加工を行う部分に対し、所望するダイシング幅よりも広い凹部を有するダイシング補助用の溝を、前記ダイシング加工前に形成する工程を有することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (3件)：
2C057AF93
, 2C057AP02
, 2C057AP22
