特許

J-GLOBAL ID：200903002542489900

弾性表面波素子の製造方法

発明者： 高橋 裕輔 ,  田中 敏晴 ,  近藤 健雄 ,  清瀬 功 ,  柴田 賢一
出願人/特許権者： 三洋電機株式会社
代理人 (1件)： 西野 卓嗣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-101169
公開番号（公開出願番号）：特開平5-299960
出願日： 1992年04月21日
公開日（公表日）： 1993年11月12日
要約：

【要約】【目的】 弾性表面波素子の製造工程における素子の静電破壊を防止する。【構成】 各弾性表面波共振子の入力電極1と出力電極2とグランド電極5とを幅太補助パターン7a及び幅狭補助パターン7bで全て接続し、入力電極1側と出力電極2側の電位差を無くして、静電破壊を防止する。また、幅狭補助パターン7bはダイシング工程において切断され、各弾性表面波共振子が電気的に分離するように構成されている。

請求項（抜粋）：

入力電極と出力電極とを有する弾性表面波素子を圧電基板のウエハ上に形成し、前記弾性表面波素子の入力電極と出力電極とを補助パターンによって接続し、入力電極側の電位と出力電極側の電位とを同電位にしたことを特徴とする弾性表面波素子の製造方法。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-293808
  
• 特開昭59-008420
  
• 特開昭58-043607