レーザ光によるガスの分光分析方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-187817
公開番号（公開出願番号）：特開2000-019109
出願日： 1998年07月02日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：

【要約】【課題】同一波長帯域に吸収スペクトル有する主成分ガスと測定対象物でなる被測定ガスを、単一セルで、高精度、高感度で分析可能な分光分析方法の提供。【解決手段】半導体レーザ光L0を分岐して、第1レーザ光LSを主成分ガス+測定対象物でなる被測定ガスGと主成分ガスでなるキャンセルガスCを切り換導入するサンプルセル6に投射し、各ガスの吸収スペクトルを別個に採取し、同時に第2レーザ光LRを、少なくとも2本の既知の吸収スペクトルを当該波長帯に有する参照ガスRを導入するリファレンスセル16に投射して、該ガスRの吸収スペクトルを前記別個に採取した各吸収スペクトルに添載し、これをコンピュータ9で、添載した参照ガスRの既知の吸収スペクトルを基準にして被測定ガスGとキャンセルガスCとの吸収スペクトルを重ね合わせ、これらを差し引き、被測定ガスG中の測定対象物の吸収スペクトルを得て分光分析する方法。

請求項（抜粋）：

レーザ光を第1の光と第2の光に分岐し、第1のレーザ光を被測定ガスを導入したサンプルセルに投射しその透過光のスペクトル強度を測定する第1の系統と、第2のレーザ光を既知の吸収スペクトルを有する成分を含有する参照ガスを導入したリファレンスセルに投射しその透過光のスペクトル強度を測定する第2の系統よりなり、第1の系統で得られた被測定ガスのスペクトルを第2の系統で得られた参照ガスの吸収スペクトルと照合して、被測定ガスのスペクトルを同定して被測定ガス中の測定対象物を分析する方法において、前記参照ガスの既知の吸収スペクトルの少なくとも2本の吸収スペクトル線を基準として、被測定ガスのスペクトルを同定して被測定ガス中の測定対象物の吸収スペクトルの波長を確定することを特徴とするレーザ光によるガスの分光分析方法。

IPC (2件)：

G01N 21/39 , G01N 21/35

FI (2件)：

G01N 21/39 , G01N 21/35 Z

Fターム (12件)：

2G059AA01 , 2G059BB01 , 2G059DD12 , 2G059EE01 , 2G059EE12 , 2G059FF09 , 2G059GG01 , 2G059GG06 , 2G059JJ22 , 2G059MM01 , 2G059MM09 , 2G059MM10

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平4-364442
特開昭63-009842
特開昭62-266440

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