特許
J-GLOBAL ID：200903002560582895

エッチング廃液の処理方法

発明者：
井下 力

井下 力 について

, 
松本 博行

松本 博行 について


出願人/特許権者：
株式会社アステック入江

株式会社アステック入江 について


代理人 (1件)： 中前 富士男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-377358
公開番号（公開出願番号）：特開2000-199086
出願日： 1998年12月28日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
要約：
【要約】【課題】エッチング処理における加工品質を良好に維持してエッチング効率を高めたエッチング液を製造する。【解決手段】 エッチング廃液の一部を取り出して鉄粉を添加し、酸化還元電位ORPを-350〜+100mVに調整し、含まれる第2鉄イオンを第1鉄イオンに還元する第1工程と、第1工程で得られる処理液を更に鉄粉と接触させて、酸化還元電位ORPを-550〜-350mVの範囲に調整し、非鉄金属イオンを除去して精製液を得る第2工程と、精製液にエッチング廃液の残部の一部又は全部を混合した後、塩素ガスを吹き込んで第2鉄イオンを富化させたエッチング液を得る第3工程とを有し、第3工程で混合される精製液に対するエッチング廃液の投入量を制御して、非鉄金属イオン濃度を調整し、エッチング対象物に適応した反応速度を有するエッチング液を製造する。
請求項（抜粋）：
非鉄金属イオン、第1及び第2鉄イオンを含みエッチング工場より排出されるエッチング廃液の一部を取り出して鉄粉を添加し、酸化還元電位ORPを-350〜+100mVに調整し、含まれる前記第2鉄イオンを第1鉄イオンに還元する第1工程と、前記第1工程で得られる処理液を更に鉄粉と接触させて、酸化還元電位ORPを-550〜-350mVの範囲に調整し、含まれる非鉄金属イオンを除去して精製液を得る第2工程と、前記精製液に前記エッチング廃液の残部の一部又は全部を混合した後、塩素ガスを吹き込んで液中の第2鉄イオンを富化させたエッチング液を得る第3工程とを有し、前記第3工程で混合される前記精製液に対する前記エッチング廃液の投入量を制御して、前記エッチング液の非鉄金属イオン濃度を調整し、エッチング対象物に適応した反応速度を有する前記エッチング液を製造することを特徴とするエッチング廃液の処理方法。
IPC (2件)：
C23F 1/46 ,  C02F 1/70
FI (2件)：
C23F 1/46 ,  C02F 1/70 A
Fターム (17件)：
4D050AA13 ,  4D050AB55 ,  4D050AB56 ,  4D050AB57 ,  4D050BA02 ,  4D050BB05 ,  4D050BD03 ,  4D050BD06 ,  4D050BD08 ,  4D050CA13 ,  4D050CA15 ,  4K057WH02 ,  4K057WH08 ,  4K057WH10 ,  4K057WM19 ,  4K057WN01 ,  4K057WN03
引用特許：
出願人引用 (4件)
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