特許

J-GLOBAL ID：200903002561428164

切削液、その製造方法およびインゴットの切断方法

発明者： 鏑木 新吾 ,  芦田 昭雄 ,  木内 悦男 ,  早川 和男 ,  外山 公平
出願人/特許権者： 信越半導体株式会社 ,  大智化学産業株式会社 ,  三益半導体工業株式会社
代理人 (1件)： 舘野 公一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-224239
公開番号（公開出願番号）：特開平8-060176
出願日： 1994年08月25日
公開日（公表日）： 1996年03月05日
要約：

【要約】【目的】 非水溶性切削油を用いた場合における引火の危険性や、被切削材洗浄工程に伴う有機溶剤による大気汚染問題を解決するとともに、大径のシリコン単結晶等のインゴットを切断するときのスライス品の反りを低下させる。【構成】 ベントナイトの水分散液に、N-メチル-2-ピロリドンとステアリン酸との反応物と、ベンゾトリアゾールとオレイン酸との反応物と、エタノールアミンとを溶解してなる主成分に砥粒の沈降防止剤、保水性向上剤、洗浄性向上剤、摩擦係数低下剤、防錆力補助剤、消泡剤等の補助剤を添加して水溶性切削液とする。

請求項（抜粋）：

ベントナイトの水分散液にN-メチル-2-ピロリドンと飽和脂肪酸との反応物と、ベンゾトリアゾールと不飽和脂肪酸との反応物と、アルカノールアミンとを溶解したものを主成分とすることを特徴とする切削液。

IPC (12件)：

C10M173/02 ,  B24B 27/06 ,  B28D 5/04 ,  C09K 3/14 550 ,  C10M109/02 ,  H01L 21/304 311 ,  C10M109:02 ,  C10M105:62 ,  C10M103:06 ,  C10M105:70 ,  C10M105:22 ,  C10N 40:22