特許
J-GLOBAL ID:200903002570633919

ハンドラのコンタクトユニット

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 船橋 國則
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-062788
公開番号(公開出願番号):特開平6-249916
出願日: 1993年02月26日
公開日(公表日): 1994年09月09日
要約:
【要約】【目的】 各種類の半導体装置に容易に対応できるハンドラのコンタクトユニットを提供すること。【構成】 ソケット15の測子16と半導体装置10のリード11とを接触させるコンタクトユニット1で、搬送プレート5の下側に半導体装置10の吸着ノズル22と保持板21とから成る保持機構2を設け、搬送プレート5の上側に設けた押圧板32と連結棒33とから成る連結機構3を設けて保持機構2を上下動可能に保持し、連結機構3の上方にパルスモータ41の駆動で上下動するボールねじ42の軸42aを設けて連結機構3を上下動させる押圧機構4を設ける。
請求項(抜粋):
複数の測子が設けられたソケットに半導体装置を載置し、前記測子と前記半導体装置のリードとを接触させるハンドラのコンタクトユニットであって、前記ソケットの上方を移動する搬送プレートの下側に設けられ、前記半導体装置を保持するための保持機構と、前記搬送プレートの上側にばねを介して設けられ、前記保持機構を該搬送プレートに対して上下動可能な状態に保持する連結機構と、前記連結機構の上方に配置されたボールねじの軸をパルスモータの駆動により上下動させ、該連結機構を上下に可動させる押圧機構とから成ることを特徴とするハンドラのコンタクトユニット。
IPC (2件):
G01R 31/26 ,  H01L 21/68
引用特許:
審査官引用 (8件)
  • 特開平1-128600
  • 特開平3-156946
  • 特開平1-128600
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