特許
J-GLOBAL ID：200903002571755970
半導体デバイスと互換性のある仕事関数を備えたメタルゲートを有する半導体デバイス
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡部 正夫 (外11名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-366458
公開番号（公開出願番号）：特開2001-196468
出願日： 2000年12月01日
公開日（公表日）： 2001年07月19日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 チャネル・キャリアの密度やデバイスの切換速度を低下させず、時間的遅延を生じさせず、ゲートの誤作動を引き起こさない半導体デバイスを提供する。【解決手段】 正反対のタイプの第1 115および第2 120のトランジスタを形成された半導体基板上に設けられた半導体デバイス100であって、半導体デバイスは、第1のトランジスタ115と互換性のある仕事関数を有する第1の金属ゲート電極材料を含む第1のゲート電極155と、第2のトランジスタ120と互換性のある仕事関数を有する第2の金属ゲート電極材料を含む第2のゲート電極160とを含み、第2のゲート電極160には、第1の金属ゲート電極材料162bも第2の金属ゲート電極材料162a上に設けられており、ゲート・スタックを形成する。
請求項（抜粋）：
正反対のタイプの第1および第2のトランジスタが形成された半導体基板上に設けられた半導体デバイスであって、前記第1のトランジスタと互換性のある仕事関数を有する第1の金属ゲート電極材料を含む第1のゲート電極と、前記第2のトランジスタと互換性のある仕事関数を有する第2の金属ゲート電極材料と、前記第2の金属ゲート電極材料上に設けられた前記第1の金属ゲート電極材料とを含む第2のゲート電極と、を含む、半導体デバイス。
IPC (2件)：
H01L 21/8238
, H01L 27/092
