特許
J-GLOBAL ID：200903002577684632
走査型トンネル顕微鏡用試料ホルダー
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-226270
公開番号（公開出願番号）：特開平6-074880
出願日： 1992年08月25日
公開日（公表日）： 1994年03月18日
要約：
【要約】【目的】 試料を加熱してSTM観察する際に、ヒータと試料との間に熱応力が発生するが、それによるXY方向のドリフトを解消し、微小電流での測定を可能にすることを目的とする。【構成】 絶縁板1の上下面とそれぞれヒータ2及び試料3を膜形状に形成する。【効果】 高温度にて、高精度に試料のSTM観察ができる。
請求項（抜粋）：
ヒータ線固定電極が形成された断熱絶縁ベースと、20mm角以下の微小ヒータが形成された絶縁板と、試料接点電極と断熱絶縁層と試料固定板よりなる試料固定部で構成された走査型トンネル顕微鏡用試料ホルダー。
IPC (3件)：
G01N 1/28
, G01B 7/34
, H01J 37/28
