特許

J-GLOBAL ID：200903002577843374

光源装置及び該装置を備えた露光装置

発明者： 蛭川 茂 ,  小松田 秀基
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-087818
公開番号（公開出願番号）：特開平10-284375
出願日： 1997年04月07日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：

【要約】【課題】 水銀ランプのような光源からの照明光より所定の波長選択部材を介して所定波長域の光束を選択すると共に、このように選択された光束をシャッタで開閉して使用する場合に、そのシャッタの開閉動作中にもその光源の出力を安定に制御する。【解決手段】 水銀ランプ1からの照明光を楕円鏡2で集光してビームスプリッタ3で分岐し、ビームスプリッタ3で反射された照明光をシャッタ5、及び干渉フィルタ7等を介してレチクルRに導く。ビームスプリッタ3を透過した照明光を集光レンズ31、干渉フィルタ33、及び赤外線吸収フィルタ34を介して水銀ランプ出力センサ32に導く。干渉フィルタ33で干渉フィルタ7からの戻り光を遮断する。

請求項（抜粋）：

照明光を発生する光源と、該光源からの照明光の光路を開閉するシャッタと、該シャッタの後に配置されて前記光源からの照明光より所定波長域の光束を抽出する波長選択部材と、を有し、該波長選択部材で選択された光束を前記シャッタで開閉して使用する光源装置において、前記波長選択部材を第1の波長選択部材としたときに、前記光源からの照明光の一部を前記シャッタを介することなく受光する光電検出器と、該光電検出器の検出信号に応じて前記光源の出力を制御する制御系と、前記光源と前記光電検出器との間で前記所定波長域の光束を前記光電検出器に通過させる第2の波長選択部材と、を備えたことを特徴とする光源装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (4件)：

H01L 21/30 515 C ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 E ,  H01L 21/30 516 D