特許

J-GLOBAL ID：200903002579615735

平面研磨装置及び該装置に使用する扇形固形砥石片

発明者： 平山 良夫 ,  小林 恭 ,  桜井 均 ,  北島 英一 ,  小林 裕始
出願人/特許権者： 日本軽金属株式会社 ,  日本特殊研砥株式会社
代理人 (1件)： 安藤 順一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-309642
公開番号（公開出願番号）：特開平6-134674
出願日： 1992年10月22日
公開日（公表日）： 1994年05月17日
要約：

【要約】【目的】 被研磨体の平坦度の向上、疵の発生防止及び研磨能率の維持がはかれる板状被研磨体の平面研磨に好適な平面研磨装置及び該装置に使用する扇形固形砥石片を提供する。【構成】 円形ラッピング定盤に同一の形状、面積及び厚さをもつ複数個の平面形状扇形固形砥石片を、その各砥石面が同一平面を構成する円板状物を形作るとともに該円板状物の中心から外周縁に向う放射状流路を各砥石片両側縁間に形成するように、間隔をおいて配置し固定してなるラッピング円盤を備えた平面研磨装置において、前記複数個の平面形状扇形固形砥石片が、それぞれ砥石面に外周円弧縁からこれに接する一側縁に向って斜めに延びているが該側縁端には到っていない砥石裏面に開口する直線状溝を有している。

請求項（抜粋）：

円形ラッピング定盤に同一の形状、面積及び厚さをもつ複数個の平面形状扇形固形砥石片を、その各砥石面が同一平面を構成する円板状物を形作るとともに該円板状物の中心から外周縁に向う放射状流路を各砥石片両側縁間に形成するように、間隔をおいて配置し固定してなるラッピング円盤を備えた平面研磨装置において、前記複数個の平面形状扇形固形砥石片が、それぞれ砥石面に外周円弧縁からこれに接する一側縁に向って斜めに延びているが該側縁端には到っていない砥石裏面に開口する直線状溝を有していることを特徴とする平面研磨装置。

IPC (3件)：

B24D 7/00 ,  B24B 7/00 ,  B24D 7/06

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭60-242975
  
• 特開昭63-116747