熱効率にすぐれるマイクロマシンデバイス

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：丸山敏之 , 宮野孝雄 , 北住公一 , 長塚俊也
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-518722
公開番号（公開出願番号）：特表2004-537425
出願日： 2002年07月23日
公開日（公表日）： 2004年12月16日
要約：

熱的処理を効率的に行なうマイクロマシンデバイスであって、肉厚が50μmよりも小さい領域を少なくとも有する流体流通管(5)を少なくとも1つ有している。マイクロマシンデバイスは、流体流通管(5)の第1断熱部と第2断熱部と熱伝達が行われる1又は2以上の熱伝導性構造体を選択的に含んでいる。デバイスはまた、熱伝導性領域を含んでおり、流体流通管(5)の少なくとも一部分が熱伝導性領域の中に配備される。流体流通管(5)の壁から管の内部空間へ突出する複数の構造体が設けられる。この構造体は、管内の流体と管壁との熱伝達を高める作用を有する。基板(3)から、流体の流れを処理するためのマイクロマシンデバイスを製造する方法では、基板(3)の一部を選択的に取り除いて、装置内に所望の構造体を組み込まれる。例えば、マイクロマシンデバイスは、流体反応物質を効率良く反応させて、装置に連繋された燃料電池の燃料を製造することができ、化学から電気に変換できるシステムが提供される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

少なくとも1の流体の流れを熱的処理するマイクロマシンデバイスであって、少なくとも1つの流体流通管を具え、該流体流通管の少なくとも一部の領域は、壁の肉厚が50μmよりも小さいマイクロマシンデバイス。

IPC (4件)：

B81B1/00 , B01J19/00 , H01M8/04 , H01M8/06

FI (4件)：

B81B1/00 , B01J19/00 321 , H01M8/04 N , H01M8/06 R

Fターム (27件)：

4G075AA13 , 4G075AA39 , 4G075BA10 , 4G075BB04 , 4G075BB05 , 4G075BB10 , 4G075BD05 , 4G075CA02 , 4G075CA03 , 4G075CA54 , 4G075DA02 , 4G075DA18 , 4G075EB23 , 4G075EC11 , 4G075EC30 , 4G075EE02 , 4G075EE12 , 4G075EE31 , 4G075FA01 , 4G075FA02 , 4G075FB01 , 4G075FB04 , 4G075FC06 , 4G075FC11 , 5H027AA02 , 5H027AA06 , 5H027BA01

引用特許：

審査官引用 (1件)

特許第6192596号

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