特許

J-GLOBAL ID：200903002586467989

微細ボール配列ヘッド及びそれを用いた微細ボール配列方法

発明者： 橋野 英児 ,  下川 健二 ,  巽 宏平
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 國分 孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-160552
公開番号（公開出願番号）：特開平10-335338
出願日： 1997年06月03日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：

【要約】【課題】 ボール配列基板の中央部に微細金属ボールが集中的に吸引されるのを防止して、微細金属ボールをボール配列基板の全面に万遍なく真空吸着できるようにする。【解決手段】 内部に形成されている真空室6の周辺に真空系28を介して真空装置に接続される空気吸入孔7を形成するとともに、上記空気吸入孔7と上記真空室6の中央部との間に区画壁8a〜8cを形成し、上記空気吸入孔7から吸引される空気の流れを上記区画壁8a〜8cにより制御可能にして、ボール配列基板5の表面に形成されている複数のボール吸着孔3の位置によって微細ボール2の吸引タイミング及び吸引力を異ならせ、上記空気吸入孔7に近い周辺部に形成されているボール吸着孔2においては、早いタイミングで、かつ大きな吸引力で上記微細ボール2の吸着を行うことができるようにする。

請求項（抜粋）：

内部に真空室が形成されているとともに、その吸着面には上記真空室に連通するボール吸着孔が複数個形成されている微細ボール配列基板を保持している微細ボール配列ヘッドにおいて、上記真空室の周辺部に空気吸入孔を形成するとともに、上記空気吸入孔と上記真空室の中央部との間に区画壁を形成し、上記各ボール吸着孔のそれぞれから吸引されて上記空気吸入孔に至る空気の流れを上記区画壁により制御可能にしたことを特徴とする微細ボール配列ヘッド。

IPC (2件)：

H01L 21/321 ,  H01L 21/60 311

FI (3件)：

H01L 21/92 604 H ,  H01L 21/60 311 S ,  H01L 21/92 604 Z