リフロー方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：尾川秀昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-079925
公開番号（公開出願番号）：特開平7-273189
出願日： 1994年03月25日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：

【要約】【目的】リフロー終了後のウェハの引き出し時における雰囲気中の不純物の酸化による異物の発生を防止する。【構成】リフローを行う炉の温度を、待機時には第1の温度(例えば700°C)に保ち、リフロー時にはその第1の温度より高い第2の温度(例えば893°C)まで高め、ウェハ引出し時には第2の温度よりも低い第3の温度(例えば650°C)まで低くし、引き出し終了後第1の温度に戻す。

請求項１：

リフローを行う炉の温度を、待機時には第1の温度に保ち、リフロー時にはその第1の温度より高い第2の温度まで高め、ウェハ引出し時には第2の温度よりも低い第3の温度まで低くし、引き出し終了後第1の温度に戻すことを特徴とするリフロー方法

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