ビーム走査式検査装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高崎芳紘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-305000
公開番号（公開出願番号）：特開2000-134099
出願日： 1998年10月27日
公開日（公表日）： 2000年05月12日
要約：

【要約】【課題】ビーム走査式検査装置のビーム偏向制御をディジタル化する。【解決手段】ディジタル演算部7で生成したディジタル偏向信号DSWを被変換データの生成・分割部1及び同期部2で分割、同期化して上位、下位データD1S、D2Sとし、また、上位データD1をアドレスとして補正データ部4から補正データを読み出して同期化したデータDMSとする。これらのデータD1S、D2S、DMSをDA変換部3で個々にD/A変換器でアナログ化し、そのレベルを調整した後、加算して合成アナログ出力ASWとする。これはビーム偏向器1012へ印加される。補正データDMは、標準データDSTに対する合成アナログ出力ASWの計測値Xと標準データDSTの示す値との差から補正データ部4にて生成される。

請求項（抜粋）：

被検出物を走査するための偏向信号をディジタル偏向信号として生成するディジタル演算手段と、前記ディジタル偏向信号を処理して被変換データを生成したのち、それぞれが前記被変換データの連続したビット列から成るところの複数の部分データに分割する被変換データ生成・分割手段と、前記複数の部分データのうち最も上位の部分データである上位データの値ごとに定められた補正データを格納し、前記上位データが与えられると対応する補正データを出力するメモリ手段と、前記複数の部分データ及び前記補正データの各々をD/A変換するための、各部分データ及び補正データごとに設けられたD/A変換手段と、このD/A変換手段の各々のアナログ出力レベルを、前記部分データ及び補正データの前記被変換データの桁位置に対応するレベルに変換するための、各D/A変換手段出力に設けられたレベル変換手段と、このレベル変換手段の各々の出力を加算してビーム偏向器へ与えるアナログ偏向信号を生成するためのアナログ加算手段と、を備えたことを特徴とするビーム走査式検査装置。

IPC (3件)：

H03M 1/68 , H01J 37/147 , H01L 21/66

FI (3件)：

H03M 1/68 , H01J 37/147 B , H01L 21/66 C

Fターム (16件)：

4M106AA01 , 4M106AA02 , 4M106BA02 , 4M106CA39 , 4M106DB30 , 4M106DJ11 , 4M106DJ15 , 4M106DJ19 , 4M106DJ21 , 5C033FF01 , 5C033FF10 , 5J022AB09 , 5J022BA01 , 5J022CB06 , 5J022CF02 , 5J022CF07

引用特許：

審査官引用 (1件)

DAコンバータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-122433 出願人：株式会社アドバンテスト

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