特許
J-GLOBAL ID：200903002589506055

バリア性透明積層フィルムおよびその製造方法

発明者：
日高 知之

日高 知之 について

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寺島 久明

寺島 久明 について

, 
赤津 正道

赤津 正道 について


出願人/特許権者：
呉羽化学工業株式会社

呉羽化学工業株式会社 について


代理人 (1件)： 猿渡 章雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-204608
公開番号（公開出願番号）：特開2004-042502
出願日： 2002年07月12日
公開日（公表日）： 2004年02月12日
要約：
【課題】透明性と水蒸気バリア性を兼ね備え、各種包装ないし封止材料、あるいは電子機器用基板として適した積層フィルムを得る。【解決手段】透明樹脂フィルム基板上に、ケイ素単体ターゲットの窒素含有雰囲気中スパッタリングにより、窒化ケイ素膜を形成して、水蒸気透過度が0.05g/m2/日以下且つ平行光線透過率が80%以上であるバリア性透明積層フィルムを形成する。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
透明樹脂フィルム基板上に窒化ケイ素スパッタリング膜を形成してなり、水蒸気透過度が0.05g/m2/日以下且つ平行光線透過率が80%以上である、バリア性透明積層フィルム。
IPC (6件)：
B32B9/00 ,  B32B7/02 ,  B32B27/06 ,  B32B31/22 ,  C23C14/06 ,  C23C14/34
FI (6件)：
B32B9/00 A ,  B32B7/02 ,  B32B27/06 ,  B32B31/22 ,  C23C14/06 E ,  C23C14/34 M
Fターム (23件)：
4F100AA12B ,  4F100AK01A ,  4F100AK02 ,  4F100AK25 ,  4F100AK45 ,  4F100BA02 ,  4F100EH66B ,  4F100EH662 ,  4F100GB15 ,  4F100GB23 ,  4F100GB41 ,  4F100JD04 ,  4F100JL10 ,  4F100JN01 ,  4F100JN01A ,  4F100JN28 ,  4F100JN30 ,  4F100YY00 ,  4K029AA11 ,  4K029AA25 ,  4K029BC00 ,  4K029CA06 ,  4K029EA05
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (7件)
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