特許
J-GLOBAL ID：200903002596126071

ハーフトーンブランクス及びハーフトーンブランクスの製造方法

発明者：
服部 功

服部 功 について


出願人/特許権者：
クリーンサアフェイス技術株式会社

クリーンサアフェイス技術株式会社 について


代理人 (2件)： 保立 浩一 ,  中山 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-037205
公開番号（公開出願番号）：特開2008-203373
出願日： 2007年02月16日
公開日（公表日）： 2008年09月04日
要約：
【課題】 波長に対して依存性の無いハーフトーン特性を有するハーフトーンマスクを容易に製造することが可能なハーフトーンブランクスを提供する。【解決手段】 透明基板1上に、半透過膜2、エッチングストッパー膜3、遮光膜4が順次形成されている。エッチングストッパー膜3は、遮光膜4をエッチングする際にエッチングが半透過膜2まで進行しないようにする。遮光膜4及び半透過膜2はクロムより成る膜である。半透過膜2は、ハーフトーン露光を行うための所定の半透過特性が得られるよう遮光膜4より薄い厚さで形成されている。半透過膜2は、アルゴン50%、炭酸ガス50%の混合ガス雰囲気中でクロム製のターゲットをスパッタすることにより作成されている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
透明基板上に、半透過膜、エッチングストッパー膜、遮光膜を順次形成した構造のハーフトーンブランクスであって、 エッチングストッパー膜は、遮光膜をエッチングする際に当該エッチングが半透過膜まで進行しないようにするものであり、 半透過膜は、クロムより成る膜であってハーフトーン露光を行うための所定の半透過特性が得られる厚さで形成されていることを特徴とするハーフトーンブランクス。
IPC (4件)：
G03F 1/08 ,  H01L 21/027 ,  C23C 14/14 ,  C23C 14/34
FI (5件)：
G03F1/08 G ,  G03F1/08 L ,  H01L21/30 502P ,  C23C14/14 D ,  C23C14/34 M
Fターム (18件)：
2H095BB01 ,  2H095BB03 ,  2H095BB15 ,  2H095BB25 ,  2H095BB28 ,  2H095BC05 ,  2H095BC08 ,  2H095BC13 ,  2H095BC24 ,  4K029AA08 ,  4K029AA24 ,  4K029BA07 ,  4K029BC08 ,  4K029CA05 ,  4K029DC03 ,  4K029DC34 ,  4K029EA01 ,  4K029EA05
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (13件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM