ワイヤボンディング方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田辺良徳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-069287
公開番号（公開出願番号）：特開平10-256296
出願日： 1997年03月06日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：

【要約】【課題】安定した放電に必要な放電電流又は放電電圧と出力時間を使用して目的とするボールサイズを得ることができ、またボールの芯ずれ対策を必要としない。【解決手段】キャピラリ4の下端より延在したワイヤ3のテール長Lをボール3aのサイズ及びキャピラリ4の下端部分の内部形状によって決め、電気トーチによる放電によってテール長Lをキャピラリ4の下端面まで溶解させてボール3aを形成する。

請求項（抜粋）：

第1ボンド点と第2ボンド点の間をワイヤで接続するワイヤボンディング方法において、キャピラリの下端より延在したワイヤのテール長をボールのサイズ及びキャピラリの下端部分の内部形状によって決め、電気トーチによる放電によって前記テール長を前記キャピラリの下端面まで溶解させてボールを形成することを特徴とするワイヤボンディング方法。

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭55-098838
特開昭62-126644
ワイヤボンディング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-182945 出願人：東芝精機株式会社

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