レーザー光の位置及び強度検出方法及び装置

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出願人/特許権者： , , ,
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-236341
公開番号（公開出願番号）：特開2002-048510
出願日： 2000年08月04日
公開日（公表日）： 2002年02月15日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】レーザー光の位置と強度を安価な装置により検出する。【解決手段】水晶振動子1の表面に金属薄膜2を設け、リード線3を介して水晶振動子信号入力部6に接続し、レーザー光照射手段5から照射されるレーザー光をこの水晶振動子1の金属薄膜2に当て、その信号を水晶振動子信号入力部6に入力する。その信号のうち共振周波数を共振周波数計測部7において計測する。この共振周波数は水晶振動子に照射されたレーザー光の中心からの位置と所定の関係にあるので、その関係に基づきレーザー光照射位置測定部9においてレーザー光の照射位置を測定することができる。また、出力計測部8において入力信号中の出力を計測する。その出力は水晶振動子の共振周波数と所定の関係にあるので、レーザー光照射強度測定部10では前記共振周波数計測部7における共振周波数に基づきレーザー光4の実際の照射強度を測定する。

請求項（抜粋）：

水晶振動子の表面にレーザー光を照射して水晶振動子の共振周波数を計測し、予め得られたレーザー光の照射位置と共振周波数の関係のデータにより、レーザー光の照射位置を測定することを特徴とするレーザー光の照射位置検出方法。

IPC (3件)：

G01B 11/00 , G01J 1/02 , H01S 3/00

FI (3件)：

G01B 11/00 C , G01J 1/02 K , H01S 3/00 G

Fターム (22件)：

2F065AA03 , 2F065AA07 , 2F065BB02 , 2F065BB29 , 2F065FF44 , 2F065GG04 , 2F065GG21 , 2F065HH04 , 2F065HH13 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065QQ28 , 2G065AA04 , 2G065AB02 , 2G065AB04 , 2G065AB05 , 2G065AB09 , 2G065BA40 , 2G065DA05 , 5F072HH02 , 5F072JJ08 , 5F072KK30

引用特許：

審査官引用 (2件)

特公昭47-024628
特公昭47-024628

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