特許

J-GLOBAL ID：200903002613972178

走査形電子顕微鏡

発明者： 江角 真 ,  櫛田 浩美
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-061839
公開番号（公開出願番号）：特開平5-266840
出願日： 1992年03月18日
公開日（公表日）： 1993年10月15日
要約：

【要約】【目的】走査形電子顕微鏡に関して、電気的な手段で軸調整を行うことにより、高い操作性を持つ走査形電子顕微鏡を提供することを目的とする。【構成】電子源1と対物レンズ4の間に上軸調整コイルX20と上軸調整コイルY21,下軸調整コイルX32と下軸調整コイルY33を配置し、この軸調整コイルに直流信号と偏向信号とを重畳させて印加することで構成される。【効果】絞り及びレンズに対して軸ずれをおこしている電子線を、電気的な手段により軸調整を行うため、軸調整に必要な時間を大幅に減少できる。また自動的に軸調整をすることも可能なため、操作性の高い装置を提供することができる。

請求項（抜粋）：

電子銃と対物レンズの間に、電子線を偏向し軸調整を行うことのできる偏向器を有する走査形電子顕微鏡において、像を表示する表示器上に光軸の目標中心位置が表示されることを特徴する走査形電子顕微鏡。

IPC (3件)：

H01J 37/04 ,  H01J 37/22 ,  H01J 37/28

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭60-151946
  
• 特開平2-216747
  
• 特開昭63-231851