特許

J-GLOBAL ID：200903002617258763

感光性ポリイミド樹脂用リンス液及びパターン形成方法

発明者： 田中 明 ,  坂本 圭 ,  米田 泰博 ,  横内 貴志男 ,  長沼 靖男
出願人/特許権者： 日本ゼオン株式会社 ,  富士通株式会社
代理人 (1件)： 西川 繁明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-178164
公開番号（公開出願番号）：特開平11-352701
出願日： 1998年06月09日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
要約：

【要約】【課題】 感光性ポリイミド樹脂を用いて基板上にパターンを形成するに際し、アルカリ現像を行っても、膜物性の低下が抑制されたポリイミド膜を得ることができるリンス液、及び該リンス液を用いたパターン形成方法を提供すること。【解決手段】 感光性ポリイミド樹脂を用いて基板上に塗膜を形成し、露光後、アルカリ現像し、次いで、洗浄する際に使用されるリンス液であって、25°Cの水溶液中で測定した酸解離指数pKaが5.0以下の酸性化合物を含有する水溶液からなることを特徴とする感光性ポリイミド樹脂用リンス液、及び該リンス液を用いたパターン形成方法。

請求項（抜粋）：

感光性ポリイミド樹脂を用いて基板上に塗膜を形成し、露光後、アルカリ現像し、次いで、洗浄する際に使用されるリンス液であって、25°Cの水溶液中で測定した酸解離指数pKaが5.0以下の酸性化合物を含有する水溶液からなることを特徴とする感光性ポリイミド樹脂用リンス液。

IPC (3件)：

G03F 7/32 501 ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/038 504

FI (3件)：

G03F 7/32 501 ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/038 504