特許
J-GLOBAL ID：200903002620097525
光制御素子
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
光石 俊郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-327020
公開番号（公開出願番号）：特開平7-181437
出願日： 1993年12月24日
公開日（公表日）： 1995年07月21日
要約：
【要約】【目的】 光制御素子の広帯域化。【構成】 シールド導体504の曲率がLiNbO3 基板501の反りによる曲率と等しくなるように、例えばシールド導体504を、その基板505の底面をzカットLiNbO3 基板501と同一の曲率を付けて研摩した後、シールド導体となるべき金属膜を蒸着法で形成する。このシールド導体504を進行波電極503と光導波路とが相互作用する領域の近傍で、LiNbO3 基板501に設置することにより、オーバーレイの厚みをその長手方向に沿って広帯域化に最適な値にほぼ一定に保つことができる。
請求項（抜粋）：
少なくとも1本の光導波路を備えた電気光学効果を有する基板と、前記基板の上に形成されたバッファ層と、前記バッファ層の上に配置された進行波電極と、前記光導波路と前記進行波電極とが相互作用する領域の近傍にオーバーレイを介し配置されたシールド導体とを備えた光制御素子において、前記基板と前記シールド導体とが同一の曲率を有することを特徴とする光制御素子。
IPC (2件)：
G02F 1/03 505
, G02F 1/313
