特許

J-GLOBAL ID：200903002628262380

圧電アクチュエータおよびインクジェットヘッドおよびインクジェットヘッドの製造方法

発明者： 高林 俊英 ,  向山 恵一
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-107933
公開番号（公開出願番号）：特開平6-316070
出願日： 1993年05月10日
公開日（公表日）： 1994年11月15日
要約：

【要約】【目的】低電圧駆動が可能なため駆動回路コストが安価であり、製造歩留まりが高く、かつ安価な圧電アクチュエータとインクジェットヘッドおよびインクジェットヘッドの製造方法を提供する。【構成】可撓板1に圧電素子2が接合されてユニモルフ構造を形成し動作する圧電アクチュエータにおいて、反可撓板側の電極面上に導電性皮膜3を設けたことを特徴とする。【効果】本発明の構成および製造方法では、製造工程等で圧電素子2にその電極を分断するクラックが生じても導電性皮膜3により修復されるので、圧電素子2の厚みを減じることができる。従って低電圧駆動が可能となり、駆動回路コストを低減できる。また、圧電素子2の検査工程を省略でき、製造歩留まりが高く安価な圧電アクチュエータやインクジェットヘッドを提供できる。

請求項（抜粋）：

圧電素子と導電性を有する可撓板から成り、該可撓板に前記圧電素子の一方の電極面が接合されてユニモルフ構造を形成し、前記可撓板と前記圧電素子の反可撓板側の電極面間に通電することにより動作する圧電アクチュエータにおいて、前記反可撓板側の電極面上に導電性皮膜を設けたことを特徴とする圧電アクチュエータ。

IPC (4件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/09

FI (3件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H ,  H01L 41/08 L

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-077257
  
• 特開昭56-067271
  
• 特開昭57-181874
  
• 特開平3-006340