特許
J-GLOBAL ID：200903002628845725
複屈折評価装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
波多野 久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-145462
公開番号（公開出願番号）：特開平10-332533
出願日： 1997年06月03日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：
【要約】【課題】品質評価に必要な精度で試料の複屈折分布を迅速に評価するシステム構成を比較的簡素に構築する。【解決手段】複屈折評価装置は、試料SPの検査部の複屈折像を鋭敏色板法を用いて偏光観察する観察光学系1と、この観察光学系1による複屈折像を、検査部を評価する解析可能な画像データとして取得する画像処理システム2とを備える。観察光学系1は、試料SPに向けて光を発する光源11と、この光源11の出射側の試料SPを挟む光路上に直交ニコルの配置を成す2つの偏光子13、23と、この2つの偏光子13、23間の試料SPからの光を受ける光路上に配置される一波長板22と、2つの偏光子13、23の出射側の光路上に配置されるカラー撮像素子24とを備える。
請求項（抜粋）：
試料の検査部の複屈折像を鋭敏色板法を用いて偏光観察する観察光学系と、この観察光学系による上記複屈折像を上記検査部を評価する解析可能な画像データとして取得するデータ取得手段とを備えたことを特徴とする複屈折評価装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01M 11/00 T
, G01N 21/23
