特許

J-GLOBAL ID：200903002632401513

熱処理装置及びその抵抗発熱体群の断線検知方法

発明者： 伊東 俊行 ,  鈴木 富士雄 ,  榎本 忠
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 金坂 憲幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-287986
公開番号（公開出願番号）：特開2002-100455
出願日： 2000年09月22日
公開日（公表日）： 2002年04月05日
要約：

【要約】【課題】 抵抗発熱体群の断線を容易に検知する。【解決する手段】 ヒータ10により被処理体wを加熱して熱処理する熱処理装置100において、前記ヒータ10の温度を検出するための温度検出手段31と、その検出温度を基にヒータ10の温度が設定温度となるように前記ヒータ10に供給される電気量を制御するための電気量制御手段30とを備え、ヒータ10は複数個の抵抗発熱体R1、R2、R3・・・を並列に接続した複数の抵抗発熱体群1,群2,群3を有し、抵抗発熱体群のそれぞれに流れる電流を測定して電流値の比または差から抵抗発熱体群の断線を検知する断線検知手段50を有する。

請求項（抜粋）：

ヒータにより被処理体を加熱して所定の熱処理を施す熱処理装置において、前記ヒータの温度を検出するための温度検出手段と、その検出温度を基に設定温度となるようにヒータに供給される電気量を制御するための電気量制御手段とを備え、前記ヒータは複数個の抵抗発熱体を並列に接続した複数の抵抗発熱体群を有し、該抵抗発熱体群のそれぞれに流れる電流を測定してその電流値の比または差から前記抵抗発熱体群の断線を検知する断線検知手段を有することを特徴とする熱処理装置。

IPC (2件)：

H05B 3/00 320 ,  H05B 3/00 310

FI (2件)：

H05B 3/00 320 B ,  H05B 3/00 310 E

Fターム (5件)：

3K058AA98 ,  3K058BA00 ,  3K058CA04 ,  3K058CA32 ,  3K058CA69