特許

J-GLOBAL ID：200903002632408917

静電型アクチュエータ及びその製造方法

発明者： 土屋 太一
出願人/特許権者： ミヨタ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-093786
公開番号（公開出願番号）：特開2005-283678
出願日： 2004年03月26日
公開日（公表日）： 2005年10月13日
要約：

【課題】 低電圧の印加であっても可動部の変位量を増加でき、安定した駆動ができる静電型アクチュエータを得る。【解決手段】 少なくとも、半導体基板上に、揺動軸を中心に揺動する可動部と、該可動部と対向する位置に形成される固定部と、前記可動部移動線上に形成されるストッパー部を備え、前記可動部にはミラー部と電極部と前記半導体基板と導通させるための接触部が形成され、前記固定部には電極部が形成され、前記可動部に形成した電極部と、該電極部と対向する部位に設けられた固定部に形成した電極部との間に静電力を発生させ、前記半導体基板の上面に沿って揺動軸を中心に揺動駆動する駆動手段とを備えた静電型アクチュエータとする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

少なくとも、半導体基板上に、揺動軸を中心に揺動する可動部と、該可動部と対向する位置に形成される固定部と、前記可動部移動線上に形成されるストッパー部を備え、前記可動部にはミラー部と電極部と前記半導体基板と導通させるための接触部が形成され、前記固定部には電極部が形成され、前記可動部に形成した電極部と、該電極部と対向する部位に設けられた固定部に形成した電極部との間に静電力を発生させ、前記半導体基板の上面に沿って揺動軸を中心に揺動駆動する駆動手段とを備えたことを特徴とする静電型アクチュエータ。

IPC (5件)：

G02B26/08 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G02B26/10 ,  H02N1/00

FI (5件)：

G02B26/08 E ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G02B26/10 104Z ,  H02N1/00

Fターム (9件)：

2H041AA11 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ08 ,  2H045AB06 ,  2H045AB10 ,  2H045AB16 ,  2H045AB62 ,  2H045AB73