特許
J-GLOBAL ID：200903002633780526
近接場光プローブ、その製造方法、近接場光カンチレバー及び光ピックアップ装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-113543
公開番号（公開出願番号）：特開2002-340773
出願日： 2001年04月12日
公開日（公表日）： 2002年11月27日
要約：
【要約】【課題】寸法制御性が良く、また屈折率を高くして微小開口から出射される光等の到達性に優れてなる近接場光ファイバープローブ及びその製造方法を目的とすること。【解決手段】本発明に係る近接場光プローブ及びその製造方法によれば、近接場光を出射する近接場光プローブの構造において、透明な基板上に高屈折率材料からなる円錐台状の突起が形成されていると共に、また近接場光プローブの製造方法において、上記高屈折率材料からなる円錘台状の突起をドライエッチングにより形成したものである。
請求項（抜粋）：
近接場光を出射する近接場光プローブの構造において、透明な基板上に高屈折率材料からなる円錐台状の突起が形成されていることを特徴とする近接場光プローブ。
IPC (3件)：
G01N 13/14
, G11B 7/135
, G12B 21/06
G01N 13/14 B
, G11B 7/135 A
, G12B 1/00 601 C
