特許
J-GLOBAL ID：200903002635980301
放射線検出素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-224307
公開番号（公開出願番号）：特開平5-060871
出願日： 1991年09月04日
公開日（公表日）： 1993年03月12日
要約：
【要約】【目的】 放射線検出素子を改良する。【構成】 所定のピッチで基板に形成された複数の凹部にシンチレータを埋め込んで構成されたシンチレータ埋込パネルと、複数の画素を有する光検出パネルとを貼り合わせて一体化する。また、凹部の深さに応じてシンチレータを厚くできるようにすることで、解像度を低下させることなく検出効率を高める。さらに、防湿保護膜と反射膜を形成することで、耐湿性と検出効率の向上を図る。
請求項（抜粋）：
所定のピッチで基板に形成された複数の凹部にシンチレータを埋め込んで構成されたシンチレータ埋込パネルと、複数の画素を有する光検出パネルとを貼り合わせて一体化したことを特徴とする放射線検出素子。
IPC (2件)：
引用特許：
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