多極電界電子放出装置及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：菅直人 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-080380
公開番号（公開出願番号）：特開平5-182582
出願日： 1992年03月02日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：

【要約】【目的】入力抵抗が大きく、伝達特性が線形であり、相互コンダクタンスの大きな電力増幅器等の応用に適し、かつゲート無効電流が少ない多極電界電子放出装置及びその製造方法を提供する。【構成】絶縁性平面基板の表面に設けられた絶縁層上に形成され、該絶縁層よりオーバーハングした複数の放出突起を有するカソード電極、該絶縁性平面基板の表面に形成された放出電子を収集せしめるアノード電極、該カソード電極と該アノード電極の間に設けられたコントロール電極を少なくとも有する多極電界電子放出装置である。過剰エッチング法、方向性粒子堆積法等の方法によって製造される。

請求項（抜粋）：

電界効果にて電子を放出せしめるカソード電極と、前記カソード電極に電界を印加せしめるゲート電極と、放出電子を収集せしめるアノード電極と、前記カソード電極と前記アノード電極の間に設けられ、前記放出電子を制御せしめるコントロール電極とを少なくも具備することを特徴とする多極電界電子放出装置。

IPC (3件)：

H01J 1/30 , H01J 9/02 , H01J 21/06

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平2-226635
特開平3-040332
特開平1-154426

前のページに戻る