特許

J-GLOBAL ID：200903002639202630

振動体装置

発明者： 森屋 和文
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-209862
公開番号（公開出願番号）：特開2002-022453
出願日： 2000年07月11日
公開日（公表日）： 2002年01月23日
要約：

【要約】【課題】 基板に応力が作用するときでも、振動体を常に安定した周波数で振動させる。【解決手段】 基板1には支持固定部3を設け、この支持固定部3に設けた第1の支持梁4を介して第1の振動体5をX軸方向に振動可能な状態で基板1に取付ける。一方、第2の振動体7は、第2の支持梁6を介してY軸方向に変位可能な状態で第1の振動体5に取付ける。また、第1の振動体5と基板1との間には振動発生部9を設けると共に、第2の振動体7と基板1との間には角速度検出部10を設ける。そして、支持固定部3にはX軸方向に延びるスリット12を設け、このスリット12によって支持固定部3に生じる歪を吸収する。

請求項（抜粋）：

基板と、該基板に設けられた支持固定部と、該支持固定部に接続された支持梁と、該支持梁によって振動可能に支持された振動体とからなる振動体装置において、前記支持固定部には、該支持固定部に生じる歪みを吸収するためのスリットを設けたことを特徴とする振動体装置。

IPC (5件)：

G01C 19/56 ,  B06B 1/02 ,  G01P 9/04 ,  G01P 15/125 ,  H01L 29/84

FI (5件)：

G01C 19/56 ,  B06B 1/02 K ,  G01P 9/04 ,  G01P 15/125 ,  H01L 29/84 Z

Fターム (15件)：

2F105BB04 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD13 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA24 ,  4M112CA26 ,  4M112CA36 ,  4M112EA02 ,  5D107AA14 ,  5D107BB09 ,  5D107CC20 ,  5D107FF07