特許

J-GLOBAL ID：200903002652528137

直流法によるバルクライフタイム測定装置及びこれを用いた測定方法

発明者： 北川原 豊
出願人/特許権者： 信越半導体株式会社
代理人 (1件)： 松本 眞吉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-154127
公開番号（公開出願番号）：特開平5-102270
出願日： 1991年05月28日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：

【要約】【目的】本発明は、直流法によるバルクライフタイム測定装置及びこれを用いた測定方法に関し、従来より低出力の光源を用い、かつ、より正確にバルクライフタイムを測定することを目的とする。【構成】LED18aが一面上に多数配列されたLEDアレイ光源18A、18Bを備えている。この光源は、ある一定の駆動電流に対し、全てのLED18aが同一発光強度で発光し、半導体試料16に対し接離する方向に移動自在に配置されている。LED18aの前面にはNDフィルタ20A、20Bが着脱自在に配置される。NDフィルタ20A、20Bの透過率で半導体試料16面での光強度を粗調整し、LEDアレイ光源18A〜18Dと半導体試料16表面との間の距離により半導体試料16面での光強度を微調整する。

請求項（抜粋）：

直流定電圧電源(22)の出力電圧を、半導体試料(16)と抵抗(R1〜R4)との直列接続回路に印加した状態で、光源(18A、18B)から放射された光パルスを半導体試料面に照射し、該抵抗の端子間電圧波形を測定し、該波形の立ち下がり部分に基づいて該半導体試料のバルクライフタイムを測定する直流法によるバルクライフタイム測定装置において、該光源は、該半導体試料のエネルギーギャップに相当する波長よりも発光ピーク波長が少し短いLED(18a)が、一面上に多数配列されたLEDアレイ光源であることを特徴とする直流法によるバルクライフタイム測定装置。

IPC (2件)：

H01L 21/66 ,  G01N 27/00