特許
J-GLOBAL ID：200903002656654544
研磨機
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
樋口 盛之助 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-085210
公開番号（公開出願番号）：特開平6-270051
出願日： 1993年03月22日
公開日（公表日）： 1994年09月27日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 研磨定盤を回転させながらその上に研磨砥粒を噴霧すると共に、定盤上において製品又は検査・分析試料等を上方から加圧しながら回転させることにより、被研磨物を研磨する研磨機であって、定盤の平面管理及び修正を簡易,迅速且つ精密に行うことが出来るフェ-シング装置及び、研磨砥粒を凝集させることなく噴霧できる研磨砥粒噴霧装置を具備した研磨機を提供する。【構成】 円盤台研磨作業時は研磨定盤12を避けた位置に配備され、フェ-シング加工する際に研磨定盤上に案内されるダイヤルゲ-ジ24とバイト25とそれらの案内装置21,22とから成るフェ-シング装置を設ける。研磨砥粒を液体中に入れたスラリ-を電磁撹拌器で撹拌しながら、該スラリ-に超音波を照射して研磨砥粒を分散し、噴霧する研磨砥粒噴霧装置35を設ける。
請求項（抜粋）：
モ-タにより回転駆動される円盤台の上に研磨定盤を設置し、この研磨定盤を回転させながらその上に研磨砥粒を噴霧すると共に、研磨定盤上において製品又は検査・分析試料等の被研磨物を上方から加圧しながら回転させることにより、被研磨物を研磨する研磨機において、円盤台が取付けられている研磨機本体に、前記研磨定盤による研磨作業時は該研磨定盤を避けた位置に配備され、研磨定盤をフェ-シング加工する際に研磨定盤上に案内されるダイヤルゲ-ジとバイトとそれらの案内装置とから成るフェ-シング装置と、研磨砥粒を液体中に入れたスラリ-を電磁撹拌器で撹拌しながら該スラリ-に超音波を照射して研磨砥粒を噴霧する研磨砥粒噴霧装置とを具備したことを特徴とする研磨機。
IPC (2件)：
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