特許
J-GLOBAL ID：200903002659160224
ダイシング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-321203
公開番号（公開出願番号）：特開平7-153719
出願日： 1993年11月26日
公開日（公表日）： 1995年06月16日
要約：
【要約】【目的】 正確な深さの切断加工をすることができるダイシング装置を提供する。【構成】 顕微鏡37を上下動させてチャックテーブル12の上面に対し焦点を合わせる。そして、裏面に支持テープを張りつけたウエハをチャックテーブル12上に固定し、顕微鏡37を移動させてウエハの上面に対し焦点を合わせる。ダイシング装置のNC装置は、この時の顕微鏡37の移動量をチャックテーブル12の上面位置に加えることでウエハの上面位置を求める。そして、求めたウエハ上面位置を基準に、スピンドルモータ29によって回転したブレード27をウエハに切り込ませると共に、X軸テーブル15及びY軸テーブル25を移動させて所定深さの切断加工を行う。
請求項（抜粋）：
半導体ウエハが固定される加工テーブルと、前記半導体ウエハを切断するための刃具と、前記加工テーブルの上方に配置される顕微鏡と、この顕微鏡を上下動させて焦点を合わせる焦点調整手段と、この焦点調整手段により前記加工テーブルの上面と前記半導体ウエハの上面に焦点を合わせた場合の前記顕微鏡の位置から前記半導体ウエハの上面位置を測定する上面位置測定手段と、この上面位置測定手段で測定された半導体ウエハの上面位置を基準に前記刃具を前記半導体ウエハに切り込ませる切り込み手段とを具備することを特徴とするダイシング装置。
引用特許：
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