格子素子を備えた照明光学系

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡邊隆 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-303701
公開番号（公開出願番号）：特開2002-184690
出願日： 2001年09月28日
公開日（公表日）： 2002年06月28日
要約：

【要約】【課題】不用な波長を光源ユニットのすぐ下流側で選別することができ、また、特に熱的な負荷に関して問題の多いフィルターフィルムの代わりの役割を果たすことのできる100nm以下の波長、とりわけ極短紫外線領域に用いられる照明光学系を提供する。【解決手段】本発明は、物体面とフィールド面とを有した、特に100nm以下の波長に対して用いられる照明光学系に関するものである。本発明は、格子素子を少なくとも一つ有するとともに、物体面からフィールド面に至る光路内において、格子素子の下流側に位置する絞り面に物理的な絞りを少なくとも一つ有していることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

物体面及びフィールド面(22)を有した、とりわけ100nm以下の波長に用いられる照明光学系において、格子素子(1)を少なくとも一つ有するとともに、前記物体面から前記フィールド面(22)に至る光路内において、前記格子素子の下流側に位置する絞り面に物理的な絞り(7.3)を少なくとも一つ有していることを特徴とする照明光学系。

IPC (5件)：

H01L 21/027 , G02B 5/00 , G02B 5/18 , G02B 19/00 , G03F 7/20 521

FI (7件)：

G02B 5/00 Z , G02B 5/18 , G02B 19/00 , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 531 Z , H01L 21/30 515 D , H01L 21/30 517

Fターム (23件)：

2H042AA05 , 2H042AA13 , 2H042AA17 , 2H042AA18 , 2H042AA25 , 2H049AA07 , 2H049AA13 , 2H049AA52 , 2H049AA55 , 2H049AA63 , 2H049AA70 , 2H052BA03 , 2H052BA06 , 2H052BA12 , 5F046BA03 , 5F046CA07 , 5F046CB05 , 5F046CB12 , 5F046CB25 , 5F046CB27 , 5F046FB12 , 5F046GB02 , 5F046GB09

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