特許
J-GLOBAL ID：200903002668147621
フィルム状体の表面異物検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
津国 肇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-332827
公開番号（公開出願番号）：特開平7-190953
出願日： 1993年12月27日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：
【要約】【構成】 本発明の装置は、ターンロール上のフィルム状体の一方の側面に配置した投光器と、該投光器の光軸上の、該フィルム状体のもう一方の側面に配置した受光器と、該投光器と該受光器の間の光軸上に配置したスリットマスクとからなり、本発明の別の装置は、2本のターンロール間にあるフィルム状体の一方の側面に配置した投光器と、該投光器の光軸上の、該フィルム状体のもう一方の側面に配置した受光器と、該投光器と該受光器の間の光軸上に配置したスリットマスクと、該投光器及び該受光器の前方及び後方に配置した補助ローラとからなり、該補助ローラが該フィルム状体に押し付けられている。【効果】 ターンロール上又はターンロール間において、フィルム状体の上下の移動、ターンロールの振動、フィルム状体の張力の変動、シワなどに影響されることなく高い検出感度で異物を検査できる。さらに異物がフィルム状体の幅方向のどの位置にあっても検出感度が変わることなく異物を検出できる。
請求項（抜粋）：
フィルム状体の表面に付着した異物を検査する装置において、ターンロール上のフィルム状体の一方の側面に配置した投光器と、該投光器の光軸上の、該フィルム状体のもう一方の側面に配置した受光器と、該投光器と該受光器の間の光軸上に配置したスリットマスクとからなることを特徴とするフィルム状体の表面異物検査装置。
引用特許：
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