特許
J-GLOBAL ID:200903002668987727

非破壊検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 越場 隆
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-195126
公開番号(公開出願番号):特開平7-027743
出願日: 1993年07月12日
公開日(公表日): 1995年01月31日
要約:
【要約】【構成】被検査物Sに内在する欠陥または異物を非破壊で検出することができる非破壊検査装置であって、磁気的に安定した検査領域を画成する磁気遮蔽容器1と、磁気遮蔽容器1内に磁界を発生する磁界発生手段と、被検査物Sにより検査領域内に発生した磁界の変動をSQUIDにより検出する複数の磁気センサ21 〜2nと、検査領域内に被検査物S標準を置いた時の磁界の変動を画像情報として格納する第1格納手段4aと、検査領域内に被検査物Sを置いた時の磁界の変動を画像情報として格納する第2格納手段4bと、第1および第2の格納手段の画像情報を比較して、被検査物Sに含まれる異常を検出する情報処理装置5とを備える。
請求項(抜粋):
磁気的に安定した検査領域を画成する磁気遮蔽容器と、該磁気遮蔽容器内に磁界を発生する磁界発生手段と、該検査領域内で被検査物により発生した磁界の変動をSQUIDにより検出する複数の磁気センサと、該検査領域内に標準の被検査物を置いた時の磁界の変動を画像情報として格納する第1格納手段と、該検査領域内に被検査物を置いた時の磁界の変動を画像情報として格納する第2格納手段と、該第1および第2の格納手段に格納された画像情報を比較して両者の差異を検出する情報処理装置とを備えることを特徴とする非破壊検査装置。
引用特許:
審査官引用 (10件)
  • 特開平2-304348
  • 特開平1-245149
  • 特開平2-213764
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