カラーフィルタの外観検査方法及び外観検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-101218
公開番号（公開出願番号）：特開2006-284217
出願日： 2005年03月31日
公開日（公表日）： 2006年10月19日
要約：

【課題】垂直落射照明によるカラーフィルタの外観検査において、反射率の低い着色画素へ照射する検査光を特に強くすることなく、異物の良否の識別を反射率の高い着色画素における異物の良否の識別と同様な精度で行うことができるカラーフィルタの外観検査方法及び外観検査装置を提供すること。【解決手段】検査カメラへ入射する反射光Re3として、カラーフィルタ表面からの反射光Re1と、カラーフィルタを透過してカラーフィルタ裏面側の光反射体で垂直に反射した反射光Re1’を用いること。カラーフィルタ裏面側に、カラーフィルタ表面からカラーフィルタを透過した光源からの光を垂直に反射させる光反射体16を設けたこと。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

垂直落射照明によるカラーフィルタの外観検査方法において、検査カメラへ入射する反射光として、カラーフィルタ表面からの反射光と、カラーフィルタを透過してカラーフィルタ裏面側の光反射体で垂直に反射した反射光を用いることを特徴とするカラーフィルタの外観検査方法。

IPC (3件)：

G01N 21/958 , G01M 11/00 , G02B 5/20

FI (3件)：

G01N21/958 , G01M11/00 T , G02B5/20 101

Fターム (17件)：

2G051AA73 , 2G051AB01 , 2G051AB02 , 2G051AB11 , 2G051BB03 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051CB02 , 2G051CC11 , 2G051EB01 , 2G086EE05 , 2G086EE10 , 2H048BA02 , 2H048BA11 , 2H048BA45 , 2H048BB02 , 2H048BB42

引用特許：

出願人引用 (1件)

液晶表示基板の検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-232998 出願人：三菱重工業株式会社

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