特許
J-GLOBAL ID：200903002678249317
冷陰極およびこれを用いた電子銃ならびに電子ビーム装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-237458
公開番号（公開出願番号）：特開平9-082248
出願日： 1995年09月14日
公開日（公表日）： 1997年03月28日
要約：
【要約】【課題】 電子ビームの変調周波数の高周波化を図ることのできる冷陰極およびこれを用いた電子銃ならびに電子ビーム装置を提供する。【解決手段】 絶縁基板40上に、カソード電極41、エミッタ44、ゲート電極45からなる多数の微小冷陰極46で構成される電子放出領域47を形成し、ゲート電極45下の絶縁層42a〜42dを電子放出領域47から周辺にいくに従い階段状に厚くするとともに、カソード電極41を電子放出領域47を構成するに必要最小限の大きさに形成する。また、ゲート電極45を電子銃を構成する電極51に直接接触させ、カソード電極41に電子ビーム変調電圧を加える。さらに、この電子銃を電子源として受像管、進行波管等の電子ビーム装置を構成する。
請求項（抜粋）：
少なくとも一つの表面が絶縁性を示す基板と、該基板上に形成されたカソード電極と、該カソード電極上に形成され、その先端が先鋭化された電子放出電極と、該電子放出電極とその近傍を除いて前記基板上および前記カソード電極上に形成された絶縁層と、該絶縁層上に積層され、前記電子放出電極を取り囲む開口部を有する制御電極とから構成された冷陰極において、前記電子放出電極が形成された領域から周辺部にいくに従って前記絶縁層が階段状に厚くなる形状とされ、前記カソード電極が前記電子放出電極を形成するに必要最小限の面積を占有することを特徴とする冷陰極。
IPC (3件)：
H01J 31/12
, H01J 1/30
, H01J 23/04
H01J 31/12 C
, H01J 1/30 B
, H01J 1/30 Z
, H01J 23/04
