振動型赤外線センサ、振動型赤外線イメージャ、及び赤外線検出方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-260346
公開番号（公開出願番号）：特開平7-083756
出願日： 1993年09月10日
公開日（公表日）： 1995年03月31日
要約：

【要約】【目的】赤外線の高感度、高速応答、室温計測を目指した振動型赤外線センサ、イメージャ、及び赤外線検出方法を提供する。【構成】微小な赤外線受光部1、熱絶縁部2、2’および固定部3、3’で構成される機械的振動子を検出素子とする振動型赤外線センサ並びにこれらを多数基板上に配置した赤外線イメージャ、及び赤外線検出方法に関し、小形で高感度、高速で高精度な赤外線計測が室温で行えることを特徴とする。

請求項（抜粋）：