陰イオン交換樹脂の再生又は清浄化方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：成瀬勝夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-043338
公開番号（公開出願番号）：特開平9-234379
出願日： 1996年02月29日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：

【要約】【課題】陰イオン交換樹脂、特に半導体製造工場のクリーンルームに用いる陰イオン交換繊維フィルターをその製造時に高度に清浄化することができるほか、その再生時にも高度に清浄化することができる陰イオン交換樹脂の再生又は清浄化方法を提供する。【解決手段】陰イオン交換樹脂を清浄化処理するに際し、上記陰イオン交換樹脂を所定の有機第四アンモニウム化合物の水溶液からなるリンス液と接触させる陰イオン交換樹脂の再生又は清浄化方法である。【効果】単に陰イオン成分だけでなくアルカリ金属等の汚染成分も高度に低減させることができるので、陰イオン交換樹脂の製造時に高度に清浄化することができると共に、一旦使用された陰イオン交換樹脂の再生又は再生後にも高度に清浄化することができ、特に半導体製造工場のクリーンルームに用いる陰イオン交換繊維フィルターを清浄化する上で好適である。

請求項（抜粋）：

陰イオン交換樹脂を清浄化処理するに際し、上記陰イオン交換樹脂を下記一般式(1)【化1】(但し、式中R1 〜R4 は互いに同じ又は異なる炭素数1〜3のアルキル基又はヒドロキシ置換アルキル基を示す)で表される有機第四アンモニウム化合物の水溶液からなるリンス液と接触させることを特徴とする陰イオン交換樹脂の再生又は清浄化方法。

IPC (4件)：

B01J 49/00 , B01D 41/02 , B01D 53/34 , B01D 53/81

FI (3件)：

B01J 49/00 G , B01D 41/02 , B01D 53/34 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭64-066598
特開昭64-066598

前のページに戻る