流路部材及び流路装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-048100
公開番号（公開出願番号）：特開2005-238347
出願日： 2004年02月24日
公開日（公表日）： 2005年09月08日
要約：

【課題】流路部材に、迅速かつ精密に流量を調整することのできる流量調整機能を付与する。【解決手段】絶縁基板1と、該絶縁基板1に内蔵された流路11と、該流路11の形状を変化させて流量を増減するアクチュエータ3と、を具備してなることを特徴とする流路部材。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

絶縁基板と、該絶縁基板に内蔵された流路と、圧電素子の電歪作用によって該流路の形状を変化させて流量を増減するアクチュエータと、を具備してなることを特徴とする流路部材。

IPC (1件)：

B81B3/00

FI (1件)：

B81B3/00

引用特許：

出願人引用 (2件)

審査官引用 (5件)

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