特許
J-GLOBAL ID：200903002696825058
クリーンルームにおけるガス漏れ対策装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田北 嵩晴
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-121103
公開番号（公開出願番号）：特開平5-293193
出願日： 1992年04月16日
公開日（公表日）： 1993年11月09日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 クリーンルーム内のいずれかのゾーンにおいてガス漏れが検知されたときに、ガス供給の停止、装置の停止、排気系の切替えなどを自動的に行えるようにする。【構成】 ガス源8からプロセスガス或いは危険性ガスの供給を受けて所定の処理を行う製造装置がゾーン7a,7b,7c,7dの各々に設置されるクリーンルーム2において、ゾーン及び製造装置内部のガス漏れを検知するそれぞれのガスセンサ15,16,17,18及び19,20,21,22、排気に対し無害化の処理を行う排気除害装置31、ゾーンから供給されるガスを大気中または排気除害装置のいずれかへ供給する切替バルブ27,28,29,30、プロセスガスを通常処理した排ガス処理のための配管32および排ガス処理装置33を備え、ガス漏れを検出したときに制御部1によって事故のゾーンに関係するガス供給バルブを閉め、切替バルブを排気除害装置側へ切り換える。
請求項（抜粋）：
ガス源からプロセスガスの供給を受けて発火を伴う処理を行い或いは前記ガス源から危険性ガスの供給を受けて所定の処理を行う装置が複数に分割したゾーンの各々に設置されるクリーンルームにおいて、前記ゾーンの各々及び前記装置の各々の内部のガス漏れを検知する複数のガスセンサと、有害ガスに対し無害化の処理を行う排気除害装置と、前記各ゾーンから供給される排気を大気中または前記排気除害装置のいずれかへ供給する複数の切替バルブと、前記ガスセンサがガス漏れを検出したときにその対応するゾーンに関係するガス供給バルブを閉めると共に前記切替バルブを前記排気除害装置側へ切り換える制御部とを具備することを特徴とするクリーンルームにおけるガス漏れ対策装置。
IPC (3件)：
A62C 3/00
, A62C 37/36
, F24F 7/06
