特許

J-GLOBAL ID：200903002698687329

ターボ分子ポンプ

発明者： 大窪 和生
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-151908
公開番号（公開出願番号）：特開平9-004594
出願日： 1995年06月19日
公開日（公表日）： 1997年01月07日
要約：

【要約】【目的】本発明は超高真空用の真空排気装置として用いられるターボ分子ポンプに関し、小型化を図りつつ大排気速度を実現することを目的とする。【構成】遠心方向用回転翼20及び遠心方向用固定翼21を、夫々ロータ本体17の回転中心軸を中心として異なる直径を有する複数のブレード27,30 により構成すると共にこのブレード27,30 径方向に対して開口を有する形状とし、遠心方向用回転翼20の回転に伴い径方向に排気作用を奏するよう構成し、かつ、遠心方向用回転翼20と遠心方向用固定翼21とを組み合わせることにより構成される遠心方向排気段35を少なくとも一段以上設ける。

請求項（抜粋）：

ハウジングに固定された固定翼と回転体に配設され回転する回転翼とを有し、前記回転翼が前記固定翼と対向した状態で回転することにより吸気口から排気口へ向け排気処理を行うターボ分子ポンプにおいて、前記固定翼及び回転翼を、夫々前記回転体の回転中心軸を中心として異なる直径を有する複数の翼部により構成すると共に前記翼部を径方向に対して開口を有する形状とし、前記回転翼の回転に伴い径方向に排気作用を奏するよう構成し、かつ、前記回転翼と固定翼とを組み合わせることにより構成される遠心方向排気段を少なくとも一段以上設けたことを特徴とするターボ分子ポンプ。