特許
J-GLOBAL ID:200903002699672520

光振幅位相特性測定装置およびその測定方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 清水 守
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-008919
公開番号(公開出願番号):特開平11-211572
出願日: 1998年01月20日
公開日(公表日): 1999年08月06日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 高感度かつ高安定な光の振幅と位相の測定を行う。【解決手段】 二つの波長の異なる光源1,2の出力光の基本波成分を分岐する光分岐器3の出力のどちらか一方の光路に配置される被測定試料6と、光分岐器3の出力の他方の光路に二つの光源1,2の基本波の和周波成分を発生させる和周波発生素子4と、光分岐器3の出力のどちらか一方の光路差を変調する光路差変調用信号発生器7と光路差変調用ミラー8と、二つの基本波成分と被測定試料6で発生した和周波成分を合波する光合波器9の出力光を二つの基本波成分と和周波成分に分波する光分波器10,11,12,13の出力の二つの基本波成分をそれぞれ検波する二つの光検波手段の二つの交流信号の和周波数成分を発生させる手段と、光分波器の出力の和周波成分を検波する手段と、この和周波成分の出力交流信号の振幅と位相差を検出する手段とを具備する。
請求項(抜粋):
光振幅位相特性測定装置において、(a)二つの波長の異なる光源と、(b)前記二つの光源の出力光の基本波成分を分岐する光分岐器と、(c)該光分岐器の出力のどちらか一方の光路に配置される被測定試料と、(d)前記光分岐器の出力の他方の光路に前記二つの光源の基本波の和周波成分を発生させる手段と、(e)前記光分岐器の出力のどちらか一方の光路差を変調する手段と、(f)前記二つの基本波成分と前記被測定試料で発生した和周波成分を合波する光合波器と、(g)該光合波器の出力光を二つの基本波成分と和周波成分に分波する光分波器と、(h)該光分波器の出力の二つの基本波成分をそれぞれ検波する二つの光検波手段と、(i)該光検波手段の出力の二つの交流信号の和周波数成分を発生させる手段と、(j)前記光分波器の出力の和周波成分を検波する手段と、(k)該和周波成分の出力交流信号の振幅と位相差を検出する手段とを具備することを特徴とする光振幅位相特性測定装置。

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