特許
J-GLOBAL ID：200903002708203856
微細加工方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-104581
公開番号（公開出願番号）：特開平9-267218
出願日： 1996年04月02日
公開日（公表日）： 1997年10月14日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 電解質溶液中で微細な先端を有する探針を被加工物に近接させ、両者の間に電気化学反応を生じさせて被加工物の加工を行う微細加工法において、探針と被加工物の距離および加工量を精密かつ容易に制御できる方法を提供する。【解決手段】探針1、被加工物2、参照電極10、外部電極11の四電極方式で電気化学セルを構成し、探針1および被加工物2の電位を電気化学反応が起こらない電位に設定して、探針1のZ軸位置を被加工物2と探針1間に流れるトンネル電流が一定となるように制御を行い、加工線上を探針1を移動させながら被加工物2の凹凸形状および傾きを記憶し、加工時には探針1、被加工物2、参照電極10の三電極方式に電気化学セルを再構成し、前述の加工線上を、前述の記憶した位置に探針1のZ軸位置を制御しながら再び探針1を移動し、同時に探針1と被加工物2間に電圧を印加することにより加工線上を電気化学反応で加工を行う。
請求項（抜粋）：
液体中で微細な先端を有する探針と被加工物を浸漬し、被加工物と探針との間に電気化学反応を起こさせ加工を行う微細加工方法において、加工予定領域上の被加工物の表面形状をあらかじめ計測、記憶しておき、加工時には記憶した表面形状のデータに基づいて探針と被加工物の距離の制御を行いながら連続的に探針を移動させ、電気化学反応により加工を行うことを特徴とする微細加工方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
審査官引用 (3件)
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特公昭41-020205
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特開平1-205957
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特開昭47-066897
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