特許

J-GLOBAL ID：200903002709556272

フィルトレーションシステム

発明者： 宮部 一恵 ,  桐山 修司
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 宮田 金雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-068265
公開番号（公開出願番号）：特開平9-260344
出願日： 1996年03月25日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：

【要約】【課題】 ロット処理待ちの時間が長くてもエアーの消費量が無駄になることのない、ウェットエッチング槽用フィルトレーションシステムを提供する。【解決手段】 薬液を循環させるための1以上のポンプと、薬液中の異物を検出するダストカウンタと、このダストカウンタからの信号に基づいて前記ポンプによる薬液の流量を制御する制御手段と、を備えている。

請求項（抜粋）：

ウェットエッチング槽用のフィルトレーションシステムにおいて、薬液を循環させるための1以上のポンプと、薬液中の異物を検出するダストカウンタと、このダストカウンタからの信号に基づいて前記ポンプによる薬液の流量を制御する制御手段と、を備えたウェットエッチング槽用フィルトレーションシステム。

IPC (3件)：

H01L 21/306 ,  C23F 1/08 ,  C23F 1/46

FI (3件)：

H01L 21/306 J ,  C23F 1/08 ,  C23F 1/46