特許

J-GLOBAL ID：200903002712742702

荷電粒子ビーム露光装置

発明者： 坂本 樹一
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 石川 泰男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-059116
公開番号（公開出願番号）：特開平6-275499
出願日： 1993年03月18日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：

【要約】【目的】 無駄な待ち時間を設定することなく、装置全体のスループットの向上を図った荷電粒子ビーム露光装置を提供することを目的とする。【構成】 データ管理手段1と、露光データをショットデータに分解するショット分解手段3と、各ショット毎に待ち時間WTを設定する待ち時間設定手段5と、露光時間情報に基づきビーム照射時間ETを設定する照射時間設定手段7と、待ち時間WT及びビーム照射時間ETに基づいて1ショットの露光サイクル時間PTを定め、該露光サイクル時間PTが所定の基準時間JTよりも短い場合に、該露光サイクル時間PTが基準時間JTよりも長くなるように再設定する補正手段9と、待ち時間WT、ビーム照射時間ET、及び露光サイクル時間PTの内、少なくとも2つの時間に基づきクロック信号SCLKを生成するクロック発生手段10とを有して構成する。

請求項（抜粋）：

少なくとも露光されるパターンの始点、該パターンの大きさ、該パターンの形状情報、及び露光時間情報を1つのパターン情報として有する露光データを保持し、露光に際しては該露光データを出力するデータ管理手段(1)と、前記データ管理手段(1)からの露光データをショットデータに分解するショット分解手段(3)と、前記ショット分解手段(3)からの情報に基づき各ショット毎に待ち時間(WT)を設定する待ち時間設定手段(5)と、前記露光時間情報に基づきビーム照射時間(ET)を設定する照射時間設定手段(7)と、前記待ち時間(WT)及び前記ビーム照射時間(ET)に基づいて1ショットの露光サイクル時間(PT)を定め、該露光サイクル時間(PT)が所定の基準時間(JT)よりも短い場合に、該露光サイクル時間(PT)が前記基準時間(JT)よりも長くなるように該露光サイクル時間(PT)を再設定する補正手段(9)と、前記補正手段(9)で最終的に設定された待ち時間(WT)、ビーム照射時間(ET)、及び露光サイクル時間(PT)の内、少なくとも2つの時間に基づき、当該荷電粒子ビーム露光装置内の各構成要素を駆動するクロック信号(SCLK)を生成するクロック発生手段(10)とを有することを特徴とする荷電粒子ビーム露光装置。

FI (2件)：

H01L 21/30 341 M ,  H01L 21/30 341 J