特許

J-GLOBAL ID：200903002712978935

ワイヤソーの切削液調合・再生管理方法及び装置

発明者： 本山 良也
出願人/特許権者： 石川島汎用機サービス株式会社
代理人 (1件)： 山田 恒光 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-165079
公開番号（公開出願番号）：特開2000-351112
出願日： 1999年06月11日
公開日（公表日）： 2000年12月19日
要約：

【要約】【課題】 再利用される液の管理が正確に行われ、品質を確保しながら効率のよいシリコンウエハー切削を可能にする。【解決手段】 回収タンクに付設される重量計23と液面計24で回収タンク内の、調合、再生の対象となる回収液の全体の重量と体積を測定する。一方、重量計34と液面計35を備えた計量タンク31に薄め液を供給してその重量と体積を測定し、回収液のサンプル液を計量タンク31に供給し、混合した混合液の重量と体積を測定し、更に濃度計32により混合液の各成分の重量比を求め、各測定値により切削液の砥粒、オイル、シリコンの重量を制御装置33で演算し、シリコン含有量に対し予め設定された砥粒量とオイル量との比になるように制御装置33で新砥粒と新オイルの供給量を指令する。

請求項（抜粋）：

ワイヤソーでシリコンウエハーを切削する際に使用される切削液中に含まれる成分である砥粒、オイル、シリコンの各重量を直接測定して最適の重量成分比に調合、再生管理するワイヤソーの切削液調合・再生管理方法であって、まず、調合、再生する切削液の全体の重量と体積を測定し、併せてその切削液からサンプル液を採集し、このサンプル液を、予め体積と重量を測定した適当な薄め液に混合し、この混合液の重量と体積を測定し、濃度計などにより混合液中の固形分重量を測定することにより、砥粒、オイル、シリコンの重量を演算し、シリコン含有量に対し予め設定された砥粒量とオイル量との比になるように新砥粒と新オイルの供給量を調節して調合、再生することを特徴とするワイヤソーの切削液調合・再生管理方法。

IPC (3件)：

B28D 5/04 ,  B24B 27/06 ,  B24B 57/00

FI (3件)：

B28D 5/04 C ,  B24B 27/06 D ,  B24B 57/00

Fターム (15件)：

3C047FF06 ,  3C047FF09 ,  3C047GG13 ,  3C047GG15 ,  3C047GG20 ,  3C058AA05 ,  3C058AC04 ,  3C058BA09 ,  3C058BC03 ,  3C058DA03 ,  3C069AA01 ,  3C069BA06 ,  3C069CA05 ,  3C069DA06 ,  3C069EA01