特許
J-GLOBAL ID：200903002728845455
円周面形状測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-332966
公開番号（公開出願番号）：特開平7-190734
出願日： 1993年12月27日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：
【要約】【目的】 外筒内面等の形状測定において、できるだけ少ない測定回数で精度高く測定する方法を提供する。【構成】 外筒2と内筒4を共軸になるように配置したときの両円筒面3,5の間隔分布、外筒または内筒を軸のまわりに180度回転した状態での両円筒面の間隔分布、及び外筒の内径または内筒の外径の分布から円筒面の形状を算出する。例えば間隔測定用干渉計1で外筒内面3と内筒外面5の間隔を測定し、間隔の測定値W1(x,y)を得、外筒を180度回転した後で同様の測定を行い、測定値W2(x,y)を得る。内筒を除去し、干渉計で外筒の内面直径の測定値W3(x,y)を得る。間隔測定用干渉計等を利用した間隔測定装置によって2つの円筒即ち外筒と内筒を組み合わせたときの3種類の円筒面間隔の測定値から被測定円筒面の形状を算出することにより円筒面形状を精度よく測定する。
請求項（抜粋）：
外筒と該外筒の内円周面の径より小さな径の外円周面を有する内側部材を共軸になるように配置したときの両円周面の間隔分布、外筒または内側部材を軸のまわりに180度回転した状態での両円周面の間隔分布、及び外筒の内径または内側部材の外径の分布から円周面の形状を算出することを特徴とする円周面形状測定方法。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, G01B 11/12
, G01B 11/14
